臭氧濃度檢測的方法大致可分為化學分析法和儀器法兩大類。

最常用的化學分析方法有碘化鉀法、硼酸碘化鉀吸光光度法和靛藍二磺酸鈉分光光度法。前兩種方法對臭氧的特異性或穩(wěn)定性較差，在現(xiàn)場使用中受到一定的限制，而靛藍二磺酸鈉分光光度法靈敏度高，抗臭氧能力強。可用于O3的定量測定，因此在1996年頒布的空氣質(zhì)量標準GB3095-1996中，采用該方法代替原標準中的硼酸碘化法作為O3化學檢測的標準。

臭氧檢測儀器方法的優(yōu)點是靈敏度高，重復(fù)性好，對操作人員的要求不高，是一種較好的方法，但是因為此類儀器原來一般價格昂貴，不易普及使用。經(jīng)過多年的努力，在提高質(zhì)量的過程中，通過大規(guī)模采購不斷降低臭氧檢測儀的價格。越來越多的客戶使用臭氧檢測儀器?，F(xiàn)在它終于被大規(guī)模使用了。

檢測臭氧濃度的原理是采用化學發(fā)光法、紫外吸收法和電化學法。由于化學發(fā)光法需要配備乙烯氣瓶，而乙烯為可燃物質(zhì)，危險且不便，因此近年來普遍采用紫外吸收法和電化學法。

紫外吸收法的原理是基于O3對波長為254nm的紫外光的吸收，根據(jù)比爾一朗的定律可以計算出O3的濃度。該方法結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、響應(yīng)速度快。在0-10000ppm濃度范圍內(nèi)具有良好的線性度，零漂和跨度漂移很小。

電化學法是待測臭氧氣體通過擴散方式與儀器接觸。并做出反應(yīng)。輸出穩(wěn)定的電信號。氣體濃度值可在顯示器上穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù)。